Web・本規格は、IC製造工場において300mm径ウェーハの搬送および保管に使用されるFOUPを、部分的に規定しています。 ・本規格が意図しているのは、すべてのメカニカルインタフェースにておいて、モジュール性と互換性を確保しながら、技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることです。 本仕様におけるほとんどの要求事項は、最大 … Webシリコンウェハーのサイズと種類 成膜加工などのテストウェハーに使われるシリコンウェハーのサイズ (口径)は、直径2インチから12インチまで各サイズがあり、それぞれの用途や評価に使用するツールや装置仕様によって決まります。 小口径ウェハーと呼ばれる2インチから6インチウェハーは、主にオリフラ (OrientationFlat)と呼ばれる結晶軸の方向を …
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